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基于機械臂力控制的玻璃基板自動脫附

摘要:針對玻璃基板拋磨工藝中的人工上料(貼片)和下料(卸片)過程,提出一套玻璃基板自動上下料裝置及工藝,重點研究其中用機械臂實現(xiàn)玻璃基板的自動脫附過程。建立了機械臂的運動學(xué)模型,根據(jù)工藝要求規(guī)劃其運動軌跡。對工藝過程中絕對位置精度要求較高的點,采用接觸力反饋的方式實現(xiàn)精確定位;針對玻璃脫附過程對操作力提出的要求,對機械臂采用力控制的方式實現(xiàn)。為節(jié)省末端的力傳感器,建立了機械臂的動力學(xué)模型,把對末端執(zhí)行器的力的要求轉(zhuǎn)換為對關(guān)節(jié)驅(qū)動電機的扭矩要求,再通過實驗的方法對計算出的理論扭矩進行補償修正,從而滿足工藝過程對機械臂末端執(zhí)行器在水平和垂直兩個方向上的力控制的要求。方法均通過實驗驗證可實現(xiàn)玻璃基板的自動脫附,系統(tǒng)工作過程穩(wěn)定可靠。

關(guān)鍵詞:
  • 玻璃基板  
  • 自動脫附  
  • 軌跡規(guī)劃  
  • 力控制  
  • 接觸定位  
  • 工業(yè)機械臂  
作者:
王恒升; 邱偉俊; 王澤教; 侯力瑋
單位:
中南大學(xué)機電工程學(xué)院; 長沙410083; 中南大學(xué)高性能復(fù)雜制造國家重點實驗室; 長沙410083
刊名:
制造業(yè)自動化

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期刊名稱:制造業(yè)自動化

制造業(yè)自動化雜志緊跟學(xué)術(shù)前沿,緊貼讀者,國內(nèi)刊號為:11-4389/TP。堅持指導(dǎo)性與實用性相結(jié)合的原則,創(chuàng)辦于1979年,雜志在全國同類期刊中發(fā)行數(shù)量名列前茅。