摘要：傳統(tǒng)熱陰極電離真空計的電參數(shù)校準(zhǔn)中,必須將熱陰極電離真空規(guī)與熱陰極電離真空計連接并為其提供高真空環(huán)境,且校準(zhǔn)周期普遍較長。針對該問題,提出一種等效模擬熱陰極電離真空規(guī)的方法,研制了新型熱陰極電離真空計電參數(shù)校準(zhǔn)裝置。該裝置可單獨對熱陰極電離真空計的陰極電壓、柵極電壓、發(fā)射電流等電參數(shù)進(jìn)行自動化校準(zhǔn),適用于無配套熱陰極電離真空規(guī)情況下的校準(zhǔn)和現(xiàn)場校準(zhǔn)。解決了傳統(tǒng)熱陰極電離真空計電參數(shù)校準(zhǔn)裝置存在的問題,并為使用其他熱陰極電離源真空儀器的調(diào)試提供了新思路。
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