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摘要：本文提出了一種基于多級微反射鏡和柵格分束器的靜態(tài)輕型傅立葉紅外變換光譜儀,通過兩個多級微反射鏡實現(xiàn)光程差的空間離散和干涉圖的靜態(tài)二維采樣,通過引入柵格分束器有效降低了系統(tǒng)的體積和重量。作為該光譜儀的核心光學器件,多級微反射鏡的階梯高度一致性、面型平整度和結構精度是決定采樣間隔、分辨率和噪聲等儀器指標的主要因素。本文提出了基于MOEMS技術的厚度依次減半多層膜法,制作了臺階高度為0.625μm,階梯數(shù)為32的低階梯多級微反射鏡。測得實際階梯高度平均值為626.9nm,表面粗糙度均方根值為1.72nm。分析了階梯高度誤差對光譜復原的影響,提出了兩種階梯高度誤差校正方法,分別為通過修正因子來減小膜厚監(jiān)控誤差,和利用最小二乘余弦多項式算法對復原光譜進行校正。校正后的復原光譜誤差(SCE)降低為2.34%,滿足系統(tǒng)對光譜復原的要求。最后,將該低階梯多級微反射鏡置入光譜儀中,得到乙腈樣品的干涉圖和復原光譜圖。