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摘要：采用等離子體增強化學(xué)氣相沉積與原位滲氮復(fù)合技術(shù)在硅片和軸承鋼球上制備了類石墨碳薄膜,將兩者組成摩擦配伍對,并討論自配對類石墨薄膜在氮氣中摩擦學(xué)行為。利用往復(fù)摩擦機、掃描電子顯微鏡、三維表面輪廓儀考察自配對類石墨碳薄膜在不同載荷下摩擦磨損性能;采用高分辨透射電鏡、拉曼光譜和紅外吸收譜分析類石墨碳薄膜摩擦前后結(jié)構(gòu)變化。摩擦測試結(jié)果表明:在載荷4 N時,薄膜摩擦因數(shù)為0.01;在8 N時,薄膜摩擦因數(shù)降低到0.005。這種變化歸因于摩擦誘導(dǎo)薄膜結(jié)構(gòu)進一步有序化以及沿滑動方向形成更加有序且更長石墨烯以及片狀磨屑。證實了采用自配對碳薄膜方案是實現(xiàn)固體超滑一種有效途徑。