摘要：采用磁控濺射方法在ZrCuAl非晶涂層中摻雜不同含量N,采用X射線衍射儀、掃描電子顯微鏡、透射電子顯微鏡、原子力顯微鏡等對(duì)涂層的顯微結(jié)構(gòu)進(jìn)行表征,采用納米壓痕儀、顯微硬度儀、劃痕儀評(píng)估涂層的力學(xué)性能,通過(guò)極化試驗(yàn)評(píng)估涂層的抗腐蝕性能。結(jié)果表明,N摻雜可將涂層的硬度提高約3倍,彈性模量提高約2倍,結(jié)合力從1.51 N增加到22.76 N,但涂層的韌性有所下降。同時(shí),N摻雜可使涂層發(fā)生鈍化現(xiàn)象,提高涂層的耐腐蝕能力。當(dāng)摻雜N原子數(shù)分?jǐn)?shù)為35.8%時(shí),涂層經(jīng)極化試驗(yàn)后無(wú)點(diǎn)蝕現(xiàn)象,表面保持良好的形貌,無(wú)腐蝕跡象。因此,一定含量的N摻雜能同時(shí)提高Zr基非晶涂層的力學(xué)性能和耐蝕能力。
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