摘要：針對(duì)于原半導(dǎo)體生產(chǎn)線在生產(chǎn)過(guò)程中晶圓傳遞機(jī)械臂定位不夠精確的問(wèn)題,通過(guò)對(duì)機(jī)械臂進(jìn)行力學(xué)分析,研究其運(yùn)動(dòng)軌跡,并對(duì)晶圓機(jī)械臂的運(yùn)動(dòng)軌跡進(jìn)行了數(shù)學(xué)建模分析。并根據(jù)晶圓機(jī)械臂運(yùn)動(dòng)軌跡分析結(jié)果,引入插補(bǔ)算法減小累積誤差,并利用B&R 2003 PLC進(jìn)行程序設(shè)計(jì)實(shí)現(xiàn)系統(tǒng)精準(zhǔn)定位,通過(guò)實(shí)驗(yàn)實(shí)際數(shù)據(jù)表明,誤差范圍較小,可實(shí)現(xiàn)精準(zhǔn)定位功能。
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