摘要：搭建了基于SEM(Scanning Electron Microscope)的多靶材X射線顯微成像系統(tǒng),并對(duì)其成像原理進(jìn)行了分析,改裝后的X射線顯微成像系統(tǒng)可以通過(guò)切換靶材來(lái)實(shí)現(xiàn)對(duì)低能X射線的能量調(diào)節(jié),進(jìn)而實(shí)現(xiàn)對(duì)輕質(zhì)樣品不同區(qū)域的高分辨率、高對(duì)比度成像;在現(xiàn)有的平臺(tái)上,分別使用鋁、鉻、鎢3種靶材對(duì)楊樹(shù)葉和螞蟻樣品進(jìn)行了DR(Digital Radiography)成像實(shí)驗(yàn),并且對(duì)幾種靶材的DR成像結(jié)果進(jìn)行了分析.結(jié)果表明:使用鋁靶材對(duì)樣品的輕薄(~100μm)、邊界區(qū)域進(jìn)行成像,容易獲得較好的對(duì)比度;而鉻、鎢靶材則可以在樣品較厚(小于1 mm)時(shí)獲得較好的襯度.
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