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摘要：基于鈮酸鋰基底的聲表面波傳感器電極材料設(shè)計(jì),采用COMSOLMultiphysics仿真分析軟件對(duì)聲表面波傳感器單對(duì)叉指進(jìn)行三維建模,并進(jìn)行固體力學(xué)和靜電學(xué)物理場(chǎng)的有限元仿真分析。結(jié)果表明,不同電極材料和厚度對(duì)其反對(duì)稱模態(tài)頻率、對(duì)稱模態(tài)頻率、導(dǎo)納特性曲線及阻抗特性曲線的影響較大,且通過改變電極材料的厚度有效抑制寄生諧振為進(jìn)一步的研究提供了理論依據(jù)。