摘要：為了降低工藝要求和制作成本,提出了壓電基片上紙基微流器件制作方法。采用焊錫絲構(gòu)建微通道圖案,通過聚二甲基硅氧烷(PDMS)固化、剝離焊錫絲、填入棉線、棉線吸收未固化PDMS等工藝過程,將圖案轉(zhuǎn)印于紙基片,并貼合于128°YX-LiNbO3壓電基片上。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明,電信號(hào)功率為27.3dBm時(shí),在研制器件上實(shí)現(xiàn)淀粉顯色反應(yīng),驗(yàn)證其微流分析功能。
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