摘要：本文介紹了激光清洗技術(shù)在微電子領(lǐng)域的應(yīng)用,對(duì)該技術(shù)在清除細(xì)微顆粒方面所具有的獨(dú)到的優(yōu)越性進(jìn)行了探討.
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期刊名稱：洗凈技術(shù)
洗凈技術(shù)雜志緊跟學(xué)術(shù)前沿，緊貼讀者，是一本綜合性月刊，堅(jiān)持指導(dǎo)性與實(shí)用性相結(jié)合的原則，創(chuàng)辦于2003年，雜志在全國(guó)同類期刊中有很重的學(xué)術(shù)價(jià)值。
