摘要：顱內(nèi)壓力的監(jiān)測對顱內(nèi)疾病的診斷和治療有重要的作用,基于硅的壓阻效應(yīng),設(shè)計了一種可用于人體顱內(nèi)壓力監(jiān)測的植入式壓力傳感器。根據(jù)壓阻效應(yīng)原理和薄板變形理論,完成了顱壓傳感器力學(xué)結(jié)構(gòu)和電學(xué)性能的設(shè)計,然后采用微電子機械系統(tǒng)(MEMS)加工工藝完成了敏感芯片的制備,并提出了一種具有生物兼容性的絕緣封裝結(jié)構(gòu)。同時搭建了絕緣性測試平臺和性能測試平臺,通過測試證明封裝后的傳感器具有良好的絕緣性和抗?jié)B透能力,且其靈敏度可達到1.608 mV/kPa,可對顱壓的變化做出響應(yīng),為顱壓傳感器的批量化生產(chǎn)奠定了研究基礎(chǔ)。
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