摘要：設(shè)計了一種基于絕緣襯底上硅(SOI)片的面內(nèi)振動壓阻式加速度傳感器,并針對其交叉靈敏度性能進(jìn)行了研究,分析得出傳感器的靈敏度與壓阻微梁的軸向應(yīng)力呈正比關(guān)系,并通過仿真說明該結(jié)構(gòu)形式的加速度傳感器具有非常低的交叉靈敏度,對檢測方向的輸出干擾非常小。進(jìn)行了工藝加工和實驗測試,實驗結(jié)果表明,該面內(nèi)振動的壓阻式加速度傳感器在20℃下,工作方向上的靈敏度為0.67 mV/g,而另外兩個非工作方向(x軸和z軸)上的交叉靈敏度分別為7.3×10-4%和6.6×10-4%,對工作方向的加速度檢測影響非常小,此結(jié)構(gòu)的設(shè)計方法對于高性能的加速度傳感器的研究具有重要的參考意義。
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