摘要：矩形微通道式微懸臂梁傳感器可用于檢測單個微粒子或細(xì)胞的質(zhì)量,在生物和化學(xué)等領(lǐng)域具有非常廣泛的應(yīng)用前景。設(shè)計了一種含有矩形微通道的微懸臂梁結(jié)構(gòu),建立了單個微粒子等效的集中載荷在微懸臂梁中矩形微通道的任意位置時彎曲撓度的理論模型,分析了靜態(tài)工作模式下的彎曲撓度變化以及研究了單個微粒子的質(zhì)量及位置對微懸臂梁的彎曲撓度的影響,并用COMSOL Multiphysics仿真軟件對矩形微通道式微懸臂梁的彎曲變形進行仿真計算,彎曲撓度的仿真結(jié)果與理論計算結(jié)果相對誤差為1.2%。實驗驗證了在聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)微粒子的作用下,微懸臂梁的最大彎曲撓度為2.741μm。
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