摘要：四氟化硅作為生產(chǎn)多晶硅及其衍生物的原料,隨著電子工業(yè)的發(fā)展以及硅基產(chǎn)業(yè)的擴(kuò)大,對(duì)于四氟化硅的需求量逐漸增加。對(duì)四氟化硅生產(chǎn)工藝的研究越來(lái)越引起人們的重視。詳細(xì)介紹了制備四氟化硅的4種方法,含硅源物質(zhì)與含氟基團(tuán)物質(zhì)合成法、氟硅酸鹽熱解法、氟硅酸法、硫酸法,綜述了國(guó)內(nèi)外制備四氟化硅的研究進(jìn)展情況,并評(píng)述了各工藝的特點(diǎn)。就目前研究表明,四氟化硅制備工藝需向環(huán)保、節(jié)能、高收率方向發(fā)展。
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