摘要：利用液滴外延技術(shù)在Al0. 4Ga0. 6As表面制備了納米結(jié)構(gòu)并用原子力顯微鏡進(jìn)行表征,發(fā)現(xiàn)納米結(jié)構(gòu)的密度隨金屬Ga沉積量的增加呈先增加后減小再增加的趨勢。這種密度異常變化的現(xiàn)象,主要是由于液滴之間相互擴(kuò)散并最終形成連續(xù)的平坦層,隨著沉積量的繼續(xù)增加,新吸附的Ga原子在平坦層上面形成新的Ga液滴,從而導(dǎo)致了密度的降低。此外,納米結(jié)構(gòu)的孔深、孔徑、環(huán)高和盤徑幾何特征尺寸隨著沉積量的增加而增加,且在表面[1-10]和[110]兩個方向上納米結(jié)構(gòu)中的量子環(huán)以及盤狀結(jié)構(gòu)的形貌特征呈現(xiàn)各向異性。
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