摘要：為研究超精密加工設(shè)備隔振基礎(chǔ)的隔振效果,以某超精密加工設(shè)備為研究對象,設(shè)計了隔振系統(tǒng),分析了系統(tǒng)在環(huán)境微振動下的振動響應(yīng),發(fā)現(xiàn)在x方向能得到很好的隔振效果。另外,通過調(diào)整隔振基礎(chǔ)厚度和隔振彈簧剛度,分析了加工設(shè)備對外界環(huán)境微振動的響應(yīng)變化情況。
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