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金剛石砂輪磨削貼膜硅片崩邊的研究

摘要:

關(guān)鍵詞:
  • 貼膜  
  • 崩邊  
  • 硅片  
  • 磨削減薄  
作者:
張倩; 董志剛; 劉海軍; 王紫光; 康仁科; 閆寧; 朱祥龍
單位:
大連理工大學(xué); 精密與特種加工教育部重點(diǎn)試驗室; 遼寧大連116024; 合肥工業(yè)大學(xué)機(jī)械工程學(xué)院/現(xiàn)代集成制造與數(shù)控裝備研究所; 合肥230009; 鄭州磨料磨具磨削研究所有限公司; 鄭州450001
刊名:
金剛石與磨料磨具工程

注:因版權(quán)方要求,不能公開全文,如需全文,請咨詢雜志社

金剛石與磨料磨具工程雜志由鄭州磨料磨具磨削研究所有限公司主辦,鄭州磨料磨具磨削研究所有限公司主管的學(xué)術(shù)刊物,國內(nèi)刊號為:41-1243/TG。創(chuàng)辦于1970年,雙月刊,在全國同類期刊中發(fā)行數(shù)量名列前茅。其主要欄目有:開發(fā)與應(yīng)用、專題綜述、標(biāo)準(zhǔn)與檢測、企業(yè)快訊、工藝與裝備等。