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造孔劑含量對樹脂結(jié)合劑硅片減薄砂輪磨削性能的影響

摘要:為改善硅片背面減薄效果,在樹脂結(jié)合劑硅片減薄砂輪里添加造孔劑.通過體積密度測試、掃描電鏡觀察和磨削實驗,研究造孔劑含量對樹脂結(jié)合劑砂輪結(jié)構(gòu)和磨削性能的影響.結(jié)果表明:隨著造孔劑體積分?jǐn)?shù)增加、投料比降低,砂輪內(nèi)部孔隙率增大;且磨削實驗證明造孔劑可以提高硅片的表面質(zhì)量.當(dāng)造孔劑添加體積分?jǐn)?shù)在10%、體積密度投料比控制在75%時,樹脂結(jié)合劑硅片減薄砂輪在磨削過程中具有較好的綜合磨削性能,磨削出來的硅片表面粗糙度R a、R z、R y值波動范圍小,與其他條件下的砂輪磨削的硅片相比,表面一致性好.

關(guān)鍵詞:
  • 硅片背面減薄砂輪  
  • 氣孔率  
  • 磨紋  
  • 哈量粗糙度值  
作者:
惠珍; 趙延軍; 張高亮; 趙炯; 丁玉龍; 葉騰飛; 孫冠男; 熊華軍
單位:
鄭州磨料磨具磨削研究所有限公司; 鄭州450001; 超硬材料磨具國家重點實驗室; 鄭州450001
刊名:
金剛石與磨料磨具工程

注:因版權(quán)方要求,不能公開全文,如需全文,請咨詢雜志社

金剛石與磨料磨具工程雜志由鄭州磨料磨具磨削研究所有限公司主辦,鄭州磨料磨具磨削研究所有限公司主管的學(xué)術(shù)刊物,國內(nèi)刊號為:41-1243/TG。創(chuàng)辦于1970年,雙月刊,在全國同類期刊中發(fā)行數(shù)量名列前茅。其主要欄目有:開發(fā)與應(yīng)用、專題綜述、標(biāo)準(zhǔn)與檢測、企業(yè)快訊、工藝與裝備等。