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摘要：為了提高高光譜遙感技術的分析精度,利用標量衍射理論,對矩形光柵局部結構誤差的衍射效率進行了分析,并計算了光柵局部周期和縫寬誤差對衍射效率的影響。結果表明,當加工誤差使得光柵局部縫寬變大時,會造成光柵各主極大(除零級)衍射光強變小,這一誤差對±1級處的衍射光強影響相對較小,隨著誤差的增加,越高的衍射級次其光強下降得越快;而當加工誤差使得光柵局部縫寬變小時,會造成光柵各主極大(除零級)衍射光強變大,同樣,當誤差變大時,相對±1級的衍射光受到的影響而言,級次越高對應的主極大衍射光強增大得越快。該研究對于加工矩形光柵減小局部周期和縫寬誤差控制提供了參考。