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CMOS圖像傳感器改善靈敏度的工藝研究

摘要:CMOS 圖像傳感器芯片(CIS)的功能是把光學(xué)圖像的信號轉(zhuǎn)換為電信號,采集電信號并傳輸圖像信號的器件。CMOS 圖像傳感器廣泛應(yīng)用于手機數(shù)碼產(chǎn)品、監(jiān)控、汽車電子、工業(yè)應(yīng)用、AR/VR、醫(yī)療以及科學(xué)探測等領(lǐng)域。通過對 CMOS 圖像傳感器色彩濾鏡和微透鏡工藝進行研究,介質(zhì)層工藝改善,色彩濾鏡材料改善,濾鏡工藝改善,微透鏡工藝改善來提升 CMOS 圖像傳感器的光學(xué)吸收效率,達到靈敏度提升的效果。

關(guān)鍵詞:
  • 集成電路制造  
  • cmos圖像傳感器  
  • 色彩濾鏡工藝  
  • 微透鏡工藝  
  • 靈敏度  
作者:
葉紅波; 史海軍
單位:
上海集成電路研發(fā)中心測試技術(shù)部; 上海201203
刊名:
集成電路應(yīng)用

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期刊名稱:集成電路應(yīng)用

集成電路應(yīng)用雜志緊跟學(xué)術(shù)前沿,緊貼讀者,國內(nèi)刊號為:31-1325/TN。堅持指導(dǎo)性與實用性相結(jié)合的原則,創(chuàng)辦于1984年,雜志在全國同類期刊中發(fā)行數(shù)量名列前茅。