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摘要：基于4英寸前照式576×288EMCCD晶圓，設(shè)計了背照式EMCCD器件結(jié)構(gòu)，給出了背照式集成制備工藝方案及工藝過程。對所制備的576×288背照式EMCCD器件進(jìn)行了性能測試，并完成了成像驗證，峰值量子效率較前照式顯著提高。