摘要:在對(duì)微納材料光學(xué)特性表征中,需要獲得分辨率更高的波長(zhǎng)和強(qiáng)度的熒光圖像。普通的顯微鏡無(wú)法滿足測(cè)試的要求,因此將普通的成像顯微鏡、光譜儀以及納米移動(dòng)臺(tái)組成激光掃描顯微鏡成像系統(tǒng),并利用LabVIEW開(kāi)發(fā)了一套完整的集二維掃描采集與信號(hào)圖像處理一體的系統(tǒng)上位機(jī)軟件。掃描采集過(guò)程使用了低通濾波等數(shù)字信號(hào)處理方法消除光譜儀信號(hào)噪聲的影響。利用本系統(tǒng)測(cè)量硒化鎘納米帶、單層二硫化鉬得到了熒光強(qiáng)度圖像以及熒光峰值波長(zhǎng)圖像,能分辨出最小波長(zhǎng)為0.03 nm的熒光。將采集長(zhǎng)度與實(shí)際長(zhǎng)度進(jìn)行比較并分析熒光強(qiáng)度差異,取得了較好的效果。
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