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摘要：針對(duì)干涉測(cè)量中采集到的波面數(shù)據(jù)是大量離散采樣點(diǎn)不易尋找單位圓用于波面擬合的問題,提出了一種凸殼理論圓域擬合的方法。方法對(duì)采集的波面數(shù)據(jù)尋找最小覆蓋圓,經(jīng)歸一化后以圓Zernike為基底進(jìn)行波面擬合。利用Matlab仿真分析算法的性能,對(duì)實(shí)測(cè)數(shù)據(jù)經(jīng)過處理后與ZYGO測(cè)試數(shù)據(jù)進(jìn)行對(duì)比分析得到面型PV值的絕對(duì)誤差為0.0047λ,RMS值的絕對(duì)誤差為0.0002λ。實(shí)驗(yàn)表明算法可對(duì)采集的大量離散波面數(shù)據(jù)進(jìn)行高效準(zhǔn)確的Zernike波面擬合,為進(jìn)一步光學(xué)元件面型像差的分析提供可靠依據(jù)。