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摘要：為了實現(xiàn)平面二自由度位移測量,設計并搭建了空間分離式外差二自由度平面光柵干涉儀,并對所設計的光柵干涉儀的光學結構、測量原理、面內旋轉安裝誤差補償?shù)冗M行了研究?；谄矫婀鈻叛苌涮匦院涂臻g分離式外差光柵干涉結構設計并搭建了具有對稱性的測頭光路,結合實際光學器件的特點,利用瓊斯矩陣分析了二自由度測量原理與顯著降低周期非線性誤差的特性。通過實驗測定了光柵面內旋轉安裝誤差以便于應用旋轉矩陣對測量數(shù)據進行解耦。隨后利用矩形和圓形軌跡分別驗證了兩測量軸在各自和同時運動的情況下,所設計的平面光柵干涉儀的測量能力。實驗結果表明,在解耦補償0.350°的光柵實際面內旋轉安裝誤差的前提下,該空間分離式外差二自由度平面光柵干涉儀能夠實現(xiàn)壓電位移臺30μm內的位移測量,主要由機械振動等因素引起的誤差不超過0.15μm。本研究將空間分離式外差光柵干涉儀的測量維度拓展到了平面二自由度。