摘要：現有尺寸測量方式精度低,測量費時費力。為了提高尺寸測量的精度,使測量系統(tǒng)便攜化,操作簡單,文中實現了一種基于線陣CCD的精密尺寸測量系統(tǒng)。文中提出新的象元細分方法,將2個像元間距為8μm的線陣CCD等距錯排并以60°斜放,可突破像元間距對測量精度的限制,將最大測量誤差減小為2μm,在此基礎上采用浮動閾值方法進行數據處理,實現高精度尺寸測量。利用FPGA進行硬件描述實現線陣CCD的驅動,對CCD的輸出信號進行差分放大,采用硬件濾波方法消除曝光積分和轉移過程中的電子學噪聲,采用10位模數轉換器實現數字量的并行輸出,FPGA內部FIFO存儲數字量結果。系統(tǒng)充分利用FPGA的可編程資源,有效降低了硬件設計復雜度,無需上位機或者ARM,節(jié)約成本,系統(tǒng)小型化便攜化。實驗表明,該系統(tǒng)有效克服光源及電子學噪聲影響,可對1 mm-29 mm的中型尺寸物體進行測量,誤差小于2μm。
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