摘要：微觀結(jié)構(gòu)對(duì)金剛石涂層硬質(zhì)合金的結(jié)合性能具有重要影響。本文采用酸堿二步腐蝕法預(yù)處理WC-Co基體,使用熱絲化學(xué)氣相沉積(HFCVD)設(shè)備,分別在CH4濃度為2%,3%,4%的CH4/H2/Ar氣氛體系中,沉積得到不同微觀結(jié)構(gòu)的金剛石薄膜。采用SEM和Raman分別對(duì)薄膜的表面形貌、截面形貌及sp3/sp2相成分進(jìn)行表征,采用劃痕法評(píng)估薄膜的膜基結(jié)合性能。結(jié)果表明:提高甲烷濃度可有效細(xì)化金剛石晶粒,有利于納米晶金剛石的生長(zhǎng);當(dāng)金剛石薄膜的晶粒尺寸從幾百納米降低至幾十納米時(shí),薄膜的sp2相增多,晶粒的形核密度隨之提高;各樣品所沉積的金剛石薄膜在剝落時(shí)所受的臨界載荷分別為15.2,6.9和9.1N,結(jié)合薄膜的微觀結(jié)構(gòu),可得出結(jié)論:高純度、高形核密度的金剛石有利于提高納米尺寸薄膜與WC-Co基體的結(jié)合性能。
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