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基于DE-SVM的硅基壓阻式壓力傳感器溫度補償研究

摘要:針對硅基壓阻式壓力傳感器易受環(huán)境溫度影響的特點,提出了一種基于DE-SVM的硅基壓阻式壓力傳感器溫度補償方案。該方案主要由訓練數(shù)據(jù)預處理模塊、DE參數(shù)尋優(yōu)模塊、SVM訓練模塊、數(shù)據(jù)采集模塊、測量數(shù)據(jù)預處理模塊及SVM校正等模塊組成,以SVM算法的非線性回歸功能為核心,通過DE算法優(yōu)化SVM參數(shù),經(jīng)訓練后得到溫度校正模塊,模塊接收測量數(shù)據(jù)后輸出校正后的壓力值。實驗表明,對單個傳感器壓力值使用DE-SVM模型進行校正,最大誤差和均方誤差分別下降了93.87%和99.89%;在七塊硅基壓阻式壓力傳感器構(gòu)成的多傳感器情況下,最大誤差和均方誤差分別下降了93.17%和99.27%,平均相對誤差由14.06%下降至1.20%;最后選取訓練數(shù)據(jù)不包含的溫度點使用所建立的模型進行測試,模型仍能夠較好地進行溫度補償。

關(guān)鍵詞:
  • 檢測技術(shù)  
  • 溫度補償  
  • 硅基材料  
  • 壓阻式壓力傳感器  
作者:
文常保; 王蒙; 鐘晨昊; 宿建斌; 巨永鋒
單位:
長安大學電子與控制工程學院微納電子研究所; 西安710064
刊名:
傳感技術(shù)學報

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期刊名稱:傳感技術(shù)學報

傳感技術(shù)學報緊跟學術(shù)前沿,緊貼讀者,國內(nèi)刊號為:32-1322/TN。堅持指導性與實用性相結(jié)合的原則,創(chuàng)辦于1988年,雜志在全國同類期刊中發(fā)行數(shù)量名列前茅。