摘要：基于非對稱氧化技術(shù),引入氧化孔徑橫向光場損耗各向異性,使得TE/TM偏振光功率差進一步增加,TM偏振得到有效抑制,從而實現(xiàn)795nm垂直腔面發(fā)射激光器單偏振穩(wěn)定輸出。實驗結(jié)果顯示:當氧化孔徑為7μm×5.5μm時,不同溫度下偏振抑制比均在10dB以上,最高達到16.56dB;當氧化孔徑為20μm×18μm時,偏振抑制比也可以達到15.96dB。最終,得到偏振抑制比為16dB、水平發(fā)散角為8.349°、垂直發(fā)散角為9.340°的單偏振穩(wěn)定輸出795nm垂直腔面發(fā)射激光器(VCSEL),為實現(xiàn)單偏振高光束質(zhì)量VCSEL激光光源提供了實驗基礎(chǔ)。
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